基于方块电阻值基础值和方块电阻值修正值计算方块电阻值，其中，所述方块电阻值
修正值基于所述电阻的长度方向偏差值和所述电阻的宽度方向偏差值计算；以及，
所述方块电阻值结合所述电阻的长宽比、温度修正系数和电压效应系数计算得到所述
2.根据权利要求1所述的电阻阻值计算方法，其特征在于，所述方块电阻值修正值包括
所述第一修正值为基于所述长度方向偏差值和所述宽度方向偏差值共同计算得到的
3.根据权利要求2所述的电阻阻值计算方法，其特征在于，所述基于方块电阻值基础值
和方块电阻值修正值计算方块电阻值的步骤包括：基于如下公式计算所述方块电阻值：所
述方块电阻值=所述方块电阻值基础值+所述第一修正值+所述第二修正值+所述第三修正
4.根据权利要求1所述的电阻阻值计算方法，其特征在于，在所述基于方块电阻值基础
值和方块电阻值修正值计算方块电阻值的步骤之前，所述电阻阻值计算方法包括：
基于实际测量获取实验数据，所述实验数据包括不同长度和宽度的所述电阻的长度参
所述基于方块电阻值基础值和方块电阻值修正值计算方块电阻值的步骤包括：基于标
5.根据权利要求4所述的电阻阻值计算方法，其特征在于，所述基于实际测量获取实验
6.根据权利要求4所述的电阻阻值计算方法，其特征在于，所述实验数据代入预设公式
7.根据权利要求6所述的电阻阻值计算方法，其特征在于，所述实验数据代入预设公式
基于所述初始值，设定表格，基于所述预设公式计算所述电阻阻值的估算值，并计算所
基于规划求解算法调整所述待标定的系数的取值对所述误差之和进行最优值计算以
所述误差之和达到最小值时对应的所述待标定的系数的取值设定为所述待标定的系
其中，rsh为所述方块电阻值，rsh0为所述方块电阻值基础值，rsh1为长宽比偏差修正
系数，rsh2为长度偏差修正系数，rsh3为宽度偏差修正系数，L为所述长度参数，W为所述宽
9.根据权利要求8所述的电阻阻值计算方法，其特征在于，所述方块电阻值修正值包括
10.根据权利要求1所述的电阻阻值计算方法，其特征在于，所述方块电阻值结合所述
电阻的长宽比、温度修正系数和电压效应系数计算得到所述电阻的阻值的步骤包括，基于
其中，R为所述电阻的阻值，rsh为所述方块电阻值，L为长度参数，W为宽度参数，tcoef
为所述温度修正系数，rvc1和rvc2为所述电压效应系数，v为所述电阻受到的电压。
在半导体集成电路中，电阻是逻辑和模拟电路中重要的一种无源器件，SPICE
软件，半导体行业普遍运用SPICE建立电阻宏模型 进行仿真试验，其目的是研究电阻在各
在进行电阻建模时，现有技术中方块电阻值rsh的提取一般根据某个目标尺寸（长
度L，宽度W固定）电阻的电阻实际量测数据进行直接取值，然而不同长度和宽度的电阻的实
测电阻值存在明显差异，按照rsh直接取某个目标尺寸电阻实测值的方式，导致rsh的模型
参数值与不同尺寸电阻的实际量测值之间偏差较大，致使该参数的数值失去了物理意义，
的提取过程中考虑的因素较少，从而导致提取的方块电阻值不准确，进而影响后续的电阻
阻值，包括：基于方块电阻值基础值和方块电阻值修正值计算方块电阻值，其中，所述方块
电阻值修正值基于所述电阻的长度方向偏差值和所述电阻的宽度方向偏差值计算；以及，
所述方块电阻值结合所述电阻的长宽比、温度修正系数和电压效应系数计算得到所述电阻
中，所述第一修正值为基于所述长度方向偏差值和所述宽度方向偏差值共同计算得到的长
宽比偏差修正值；所述第二修正值为基于所述长度方向偏差值计算得到的长度偏差修正
包括：基于如下公式计算所述方块电阻值：所述方块电阻值=所述方块电阻值基础值+所述
骤之前，所述电阻阻值计算方法包括：基于实际测量获取实验数据，所述实验数据包括不同
长度和宽度的所述电阻的长度参数、宽度参数和方块电阻值参数；以及，所述实验数据代入
预设公式获取所述预设公式中待标定的系数的标定值；所述基于方块电阻值基础值和方块
电阻值修正值计算方块电阻值的步骤包括：基于标定后的所述预设公式计算所述方块电阻
的步骤包括：获取所述待标定的系数的初始值；基于所述初始值，设定表格，基于所述预设
公式计算所述电阻阻值的估算值，并计算所述估算值和所述电阻阻值的实测值之间的误
差；基于所述预设公式，建立所述表格中各单元格之间的约束关系；基于规划求解算法调整
所述待标定的系数的取值对所述误差之和进行最优值计算以减小所述误差之和；以及，所
述误差之和达到最小值时对应的所述待标定的系数的取值设定为所述待标定的系数的标
其中，rsh为所述方块电阻值，rsh0为所述方块电阻值基础值，rsh1为长宽比偏差
修正系数，rsh2为长度偏差修正系数，rsh3为宽度偏差修正系数，L为所述长度参数，W为所
可选的，所述方块电阻值修正值包括第一修正值、第二修正值和第三修正值，rsh1
被配置为所述第二修正值，rsh3/(W×1000000‑dW)被配置为所述第三修正值。
计算得到所述电阻的阻值的步骤包括，基于如下公式计算：R=rsh×L/W×tcoef×(1+rvc1
其中，R为所述电阻的阻值，rsh为所述方块电阻值，L为长度参数，W为宽度参数，
tcoef为所述温度修正系数，rvc1和rvc2为所述电压效应系数，v为所述电阻受到的电压。
值和方块电阻值修正值计算方块电阻值，其中，所述方块电阻值修正值基于所述电阻的长
度方向偏差值和所述电阻的宽度方向偏差值计算；以及，所述方块电阻值结合所述电阻的
长宽比、温度修正系数和电压效应系数计算得到所述电阻的阻值。如此配置，将影响所述电
阻的长度方向偏差值和宽度方向偏差值考虑在内，增加了计算精度，解决了现有技术中提
取的方块电阻值不准确的问题，进而提高了的电阻阻值计算和电路模拟结果的准确性。
作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且未按比例绘制，仅用以方
便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部
如在本发明中所使用的，单数形式“一”、“一个”以及“该”包括复数对象，术语“或”
通常是以包括“和/或”的含义而进行使用的，术语“若干”通常是以包括“至少一个”的含义
而进行使用的，术语“至少两个”通常是以包括“两个或两个以上”的含义而进行使用的，此
外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或
者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明
示或者隐含地包括一个或者至少两个该特征，“一端”与“另一端”以及“近端”与“远端”通常
是指相对应的两部分，其不仅包括端点，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，
可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以
是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相
互作用关系。此外，如在本发明中所使用的，一元件设置于另一元件，通常仅表示两元件之
间存在连接、耦合、配合或传动关系，且两元件之间可以是直接的或通过中间元件间接的连
接、耦合、配合或传动，而不能理解为指示或暗示两元件之间的空间位置关系，即一元件可
以在另一元件的内部、外部、上方、下方或一侧等任意方位，除非内容另外明确指出外。对于
本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
阻值的提取过程中考虑的因素较少，从而导致提取的方块电阻值不准确，进而影响后续的
请参考图1，本实施例提供了一种电阻阻值计算方法，用于计算电阻的阻值，包括：
S10，基于实际测量获取实验数据，所述实验数据包括不同长度和宽度的电阻的长
度参数、宽度参数和方块电阻值参数。长度和宽度的测量方向可以根据本领域公知常识进
行理解，符合相关设定方法或者相关设定规则的方向都可以认为是符合要求的长度方向和
S20，所述实验数据代入预设公式获取所述预设公式中待标定的系数的标定值。
S30，基于方块电阻值基础值和方块电阻值修正值计算方块电阻值，其中，所述方
块电阻值修正值基于所述电阻的长度方向偏差值和所述电阻的宽度方向偏差值计算。步骤
S30也可以理解为，包括如下步骤：基于标定后的所述预设公式计算所述方块电阻值。
以及，S40，所述方块电阻值结合所述电阻的长宽比、温度修正系数和电压效应系
阻值”的描述进行设置，在一实施例中，所述预设公式为：rsh = rsh0 + rsh1×(W×
其中，rsh为所述方块电阻值，rsh0为所述方块电阻值基础值，rsh1为长宽比偏差
修正系数，rsh2为长度偏差修正系数，rsh3为宽度偏差修正系数，L为所述长度参数，W为所
述宽度参数，dL为长度方向偏差值，dW为所述宽度方向偏差值。W、L、dL和dW参数的提取方法
式中，系数1000000是为了便于协调测量和计算之间的单位转换，在不同的实施例
也即，所述方块电阻值修正值包括第一修正值、第二修正值和第三修正值，其中，
所述第一修正值为基于所述长度方向偏差值和所述宽度方向偏差值共同计算得到的长宽
比偏差修正值；所述第二修正值为基于所述长度方向偏差值计算得到的长度偏差修正值；
值=所述方块电阻值基础值+所述第一修正值+所述第二修正值+所述第三修正值。
在一个示范性的实施例中，步骤S10基于实际测量获取实验数据的步骤包括：多次
圆接受测试)。在其他实施例中也可以选择采用平均值等其他统计学特征值进行计算。
步骤S10的具体方式可以根据本领域的公知常识进行设置，例如，采用正交实验设
在一实施例中，以非硅化p+ ploy电阻（简称ppolyns）为例，构建方块电阻rsh的公
“规划求解”是一组命令的组成部分（有时也称为模拟分析工具）。借助“规划求解”
可求得工作表上某个单元格（称为目标单元格）中公式的最优（最大或最小）值，并受工作表
上其他单元格的值的约束或限制。“规划求解”将对参与计算目标单元格和约束单元格的公
式的一组单元格（称为决策变量单元格）进行处理。“规划求解”调整决策变量单元格中的值
以符合约束条件单元格上的限制，并在目标单元格中产生想要的结果。简单来说，使用“规
划求解”可通过更改其他单元格来确定某个单元格的最大值或最小值。步骤S20具体包括如
S21，对待标定的系数赋予初始值(初始值可按经验设定一定范围内的任意数)，在
本方法中，初始值从外部获取，具体获取方式并不进行限定。本例设定rsh0=300，rsh1=‑3，
S22，按此数值的设定计算出的方块电阻模型的初始方块电阻值rsh，如下表2中第
4列。其中Rsh代表实测得的方块电阻值参数。将实测得的方块电阻值参数Rsh和方块电阻模
型初始方块电阻值rsh进行对比，计算出差值百分比abs(rsh‑Rsh)/Rsh，并将计算出的差值
S23，运用“规划求解”方法对表2中差值求和项57.24%进行最优值计算，因为此差
值求和项受表2中方块电阻模型初始方块电阻值rsh的约束，而方块电阻模型的方块电阻值
根据方块电阻系数值则可计算出电阻模型中不同尺寸的方块电阻值rsh。如下表3和表4所
从表4可以看出，基于优化后的系数计算得到的rsh和实际的Rsh之间误差较小。表
3中各参数的值也可以看成是待标定系数的标定值。由表4的结果可以合理推断，当使用表3
的参数进行计算时，计算结果会更贴合实际情况，从而解决现有技术中存在的问题。
步骤包括：获取所述待标定的系数的初始值；基于所述初始值，设定表格，基于所述预设公
式计算所述电阻阻值的估算值，并计算所述估算值和所述电阻阻值的实测值之间的误差；
基于所述预设公式，建立所述表格中各单元格之间的约束关系；基于规划求解算法调整所
述待标定的系数的取值对所述误差之和进行最优值计算以减小所述误差之和；以及，所述
误差之和达到最小值时对应的所述待标定的系数的取值设定为所述待标定的系数的标定
数计算得到所述电阻的阻值的步骤包括，基于如下公式计算：R=rsh×L/W×tcoef×(1+
其中，R为所述电阻的阻值，rsh为所述方块电阻值，L为所述长度参数，W为所述宽
度参数，tcoef为所述温度修正系数，rvc1和rvc2为所述电压效应系数，v为所述电阻受到的
也就是说，在一实施例中，结合步骤S30和S40，可以采用如下公式计算所述电阻的
方块电阻值修正值计算方块电阻值，其中，所述方块电阻值修正值基于所述电阻的长度方
向偏差值和所述电阻的宽度方向偏差值计算；以及，所述方块电阻值结合所述电阻的长宽
比、温度修正系数和电压效应系数计算得到所述电阻的阻值。如此配置，将影响所述电阻的
长度方向偏差值和宽度方向偏差值考虑在内，增加了计算精度，解决了现有技术中提取的
方块电阻值不准确的问题，进而提高了的电阻阻值计算和电路模拟结果的准确性。
明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于本发明技术方案的